真空脫氣過程中，關(guān)于是用油泵脫氣還是用分子泵脫氣，雖然說油泵可能標(biāo)的這個(gè)極限真空可能是到什么零點(diǎn)零幾個(gè)帕或者0.1帕以下，但實(shí)際上呢，樣品處的壓力其實(shí)它只能到幾個(gè)帕的量級。對于一些微孔材料，脫氣壓力只到了幾個(gè)帕的話，其實(shí)是比較難脫干凈的。市面上的這種脫氣裝置的話，其實(shí)絕大多數(shù)都是油泵脫氣，有一部分研究人員其實(shí)他已經(jīng)很清楚這一塊的差異，他會(huì)專門給自己的脫氣機(jī)配上分子泵，但是只要加上分子泵組的脫氣機(jī)，價(jià)格基本得到20萬這個(gè)量級了。BSD-660S的儀器是油泵脫氣的，BSD-660M的儀器是分子泵脫氣，在監(jiān)測壓力的狀態(tài)下，實(shí)現(xiàn)分子泵的原位脫氣，可以獲得一個(gè)高的真空，而且脫完氣之后，可以直接進(jìn)入接觸吸附質(zhì)的吸附過程，就是完全避免回填氣體的影響。關(guān)于用油泵脫氣跟分子泵脫氣的區(qū)別。